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证券时报e公司讯,近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司(688012)”)的电容耦合高能等离子体(CCP)刻蚀设备第2000个反应台顺利付运国内一家领先的半导体制造商。本批次运付客户的CCP刻蚀设备反应台有Primo AD-RIE?及Primo HD-RIE?系列产品,均来自该客户的重复订单。
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